光學微電子凈化工程，定義為將一定空間范圍內空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計的密閉空間。
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? 光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化的需求更為迫切。如超大型積體電路的研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視的項。
光學微電子凈化工程一般包括:
1.?潔凈生產區
2.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3.管理區(包括辦公、值班、管理和休息)
4.設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
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潔凈車間所需材料
1.?凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁制造。
2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
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光學微電子凈化工程解決方案:
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口。
組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
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優點:
A.空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
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